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镜组雾化解决

Air Clean System
发布时间：2016-01-12 14:50

曝光机是消耗十分巨大的设备，而曝光机透镜的雾化问题，一直是困扰该生产领域的一
大难题。本系统在曝光机独有的气体循环系统中，克服内循环压差并根据造成雾化的具体原因，对症下药，专门
针对黄光区有机气体造成曝光机lens雾化问题，低成本高输出，适合大量采用。
相对上代产品，本次产品重新设计，增加了过滤器的数量，实际净化效率大大增强，更根据实际需求，添加了加湿功能（可随时开启/关闭），可适量增大曝光机内部气体湿度，降低静电过高引起的故障率

整体图

局部图（含加湿功能。左为风机箱，右为过滤箱）

经HPU系统（上代产品，最新产品数据随后奉上）处理，曝光机chamber内气体温度以及流量无明显变化，导致雾化的气体减少90%以上，particle无明显变化。具体气体成分变化如下：（第三方检测公司提供数据）

本公司还提供边缘检查机以及曝边机的空气净化设备（以下为曝边机空气净化设备，左为正面图，右为侧面图）

下图为第三方检测机构住化公司为边缘检查机空气净化设备的净化效果做检测的现场图